半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
项目流程经验
该财产园聚积了十余家半导体芯片关于单位,设计的日进行处里特性5000吨,须要进行处里位于不同于单位的混废液。是由于各单位研发制作工艺文化差异大,废液成分表麻烦机动,进行处里难易度较高。
废水处理工艺部分及特征
生产废污水处理方法最主要比如中国三大类:高溶液浓硫酸浓度巧妙生产废污水处理方法(光刻胶、显影液液等)、含氟生产废污水处理方法(刻蚀工艺技术)和酸碱度生产废污水处理方法(刷洗工艺技术)。层次性组成比如异丙醇、四甲基氢氧化的铵等难光降解巧妙物,、氟化物、高锰酸盐指数等有机物污染破坏物。生产废污水处理方法COD上下波动大(500-3000mg/L),氟化物溶液浓硫酸浓度100-500mg/L,高锰酸盐指数50-150mg/L。
除理制作工艺工作流程
通过"区分分类整理+分质处置+低效深浅处置"的创新性机制:
各个企业内控的分类预治疗:含氟废气单独的收藏并预治疗
经济区热力管网的分类输料操作系统
综合评估调高池营养均衡土质
两极混疑结晶除掉漂浮物和电解质溶液
高效化怪物作用器(HBR)加工处理有机的被固体废弃物
O3促进氧化还原物氧化物生物降解难吸附无机物
反做出渗透装置做出脱盐进行处理
红外光谱线杀菌消毒保障溢水人身安全
相当设立了线监测设计设计和自动化投药设计,对待水源价格波动。
最终能够郊果
程序作业五年期来,治疗效果好维持靠谱。满水后COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氟化物<5mg/L,总氮<15mg/L,做到水资源Ⅳ类标准规定,组成部分工业废水处理于开发区绿化带及空气玻璃钢冷却塔保湿,工业废水处理率以上30%。去年降低生鲜水应用约40万吨,为开发区中小型企业避免浪费电费上百万多。