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半导体厂含砷废水处理案例

合肥某半导体器件工业企业低渗透压含砷污废水 治疗内容(阴离子更换强度除砷工序) 一、項目背景图 天津某半导体技术中小品牌用心砷化镓晶片切、蚀刻与粉磨生产方式工序,生产方式步骤中带来低有机废气浓度含砷冲干净化工废水,日除理量 120m³(5m³/h)。自来水水污染:总砷 0.4-0.6mg/L(均 0.5mg/L)、pH 6.5-7.5、飘浮物 50-80mg/L、含氢化物发生器氟化合物与磷酸二氢钠。领域排出的标淮(GB 39731-2020)总砷标淮值 0.5mg/L,中小品牌内控的标淮≤0.01mg/L,传统性化学水解法水流动荡大、不易平衡合格,且废水年产量高,需开发设计测微仪等级、低废水的除理工学艺。 二、技术会选择与结构设计 经小试评测化学式沉积、聚酯树脂吸附性、亚铁阴阳离子调换等技术,决定性分为机诫过滤水 + 催化活性炭过滤器聚酯树脂吸附性 + Tulsimer A-62MP 重型亚铁阴阳离子调换聚酯树脂组合成技术,层面胜机为治理 精确度不高、使用平衡、污泥处理量特少、自然化层面不高。 机戒滤过水单位:适用石英晶体砂滤过水器,去掉废一般的水都悬屏物、胶体溶液顆粒及部份分子结构充分物,浸水学习压力 0.2-0.3MPa,滤过水气速 8m/h,挪作他用粒级≥20μm,可以防止沉渣阻塞下一步硅橡胶材料,变低硅橡胶材料被污染强度。 活力性炭光敏树脂吸单元测试卷:备选柱形椰壳活力性炭(碘值≥1000mg/g),光敏树脂吸水内微量分析有机化学物、余氯及那部分砷的络合形式,进一点复苏环境质量,庇护阳离子相互交换光敏树脂,光敏树脂吸使用时刻 30min,活力性炭安置量 1.2m³,每 3 三个月复苏一些。 阴铁铝离子互转单元测试:重点为 Tulsimer A-62MP 大孔碱性性阴阴铁铝离子互转光敏聚酯不饱合树酯,该光敏聚酯不饱合树酯对砷酸根(AsO₄³⁻)、亚砷酸根(AsO₂⁻)兼具高的目的性不饱合树酯吸附能力素质,中受规范化阴阴铁铝离子(Cl⁻、SO₄²⁻)影响。光敏聚酯不饱合树酯图案填充量 2.5m³,互转柱内径 1.2m、髙度 2.4m,反击式水轮机等待精力 15min,作业空气流速 5m/h;光敏聚酯不饱合树酯饱合后用 4% NaOH 悬浊液恢复,恢复液用水量为光敏聚酯不饱合树酯球体积的 2 倍,恢复精力 4h,恢复后用绿水清洁至一般的中性,循坏应用,恢复时间是约 7 天。 三、简略进行步骤 废渣处理:加工含砷废渣经管网的汇到调池,均质均量,调池效果容积怎么算 50m³,留期限 10h,池内设立水解酸化拌和提升装置,控制浮悬物滤渣,平衡浸水水污染水流量。 机械厂滤水器:调结池污废水 经泵改善至石英石砂滤水器器,的还原浮动按钮物后,留水浮动按钮物≤5mg/L,自流灌溉迈入亲水性炭降解罐。 灵亲水性炭纤维吸附物:废液与灵亲水性炭纤维彻底的接触的面积,祛除化合物物与沉淀物后,出水出水进亚铁离子互转柱,实施的深度除砷。 化合物相互交流除砷:电镀废水从上到下流过硅胶粘合剂胶层,砷酸根、亚砷酸根与硅胶粘合剂胶上 Cl⁻发生相互交流反映,砷化合物被硅胶粘合剂胶吸收,留水总砷≤0.01mg/L,未达标后使用至研发工作或排污。 不饱和硅胶粘合剂恢复:当水流砷氧浓度>0.008mg/L 时,初始化恢复执行程序:先反洗(干净的水自下而上冲干净不饱和硅胶粘合剂层,消除外表不溶物,反洗气速 10m/h,的日子 15min)→恢复(4% NaOH 溶剂从上到下交界不饱和硅胶粘合剂层,清洗掉聚酯树脂吸附的砷正离子,恢复气速 2m/h)→正洗(干净的水从上到下冲干净不饱和硅胶粘合剂,消除农药残留恢复液,正洗气速 5m/h,的日子 30min)→备用电源,恢复废弃物汇集后聚集治疗,避免出现2次污染破坏。 四、进行视觉效果与数据解析解析 业务累计进行 12 六个月,某项标准平衡不合格,核心内容数值下列: 浸水总砷:0.4-0.6mg/L(一般 0.5mg/L); 冒水总砷:0.003-0.008mg/L(均值 0.005mg/L),剔除率≥99%; 出水量 pH:6.8-7.2,合适循环基准; 环氧树脂回收寿命:7±1 天,回收液砷有机废气浓度约 15-20mg/L,回收废渣经生物沉积操作后未达标尾气排放; 厌氧颗粒生活污水总产值:仅为传统与现代化学沉积法的 5%,大大减掉厌氧颗粒生活污水救治料工费。 五、制造费与利润进行分析 投资人的人工成本:总投资人的 180 万美金,中间机器设备费 120 万美金(油烟净化器罐、吸附物罐、铁离子交互柱、泵、电气自动化软件系统等)、装配费 30 万美金、测试极其他预算 30 万美金。 加载成本费:约 2.8 元 /m³,涉及环氧聚酯树脂耗用(0.5 元 /m³,环氧聚酯树脂实用平均寿命 3-5 年)、化学剂费(0.8 元 /m³,NaOH、硫酸等)、交电费(0.6 元 /m³)、手动及定期维护费(0.9 元 /m³)。 利润:喷水不稳定性考虑内控规格,以防绿色超标准可能性;整理后工业废水环保再生资源回收利用率达 80%,年降低成本杭州自来水管理费约 40 十万;废水减量化 95%,年减低废水加工管理费约 25 十万,总体年净收入约 60 十万,资金环保再生资源回收期 3 年。 六、例案小结 本产品对半导体材料低氧化还原电位含砷废污水 “低氧化还原电位、高精确耍求、水质监测僵化” 基本特征,用到铁离子相互交换乐队组合制作流程设计,好解决办法传统式制作流程设计有水出浮动、工业废液净化处理量大的难题。制作流程设计会自动控制的情况高,操控简约,启用动态平衡,除砷功能不错,有水出总砷动态平衡≤0.01mg/L,同時变现废污水造纸废液净化处理与工业废液净化处理减少,兼有的环境收益与划算收益,为电子设备制造行业低氧化还原电位含砷废污水深入净化处理提供数据可复制粘贴的的技术设计。

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