南京某半导清理芯片手工九正通明,晶圆制造流程中发生含硅、氟的特别的化工废液,装修设计清理产值1200吨/日。化工废液化学物质麻烦,有效納米级硅颗粒状及盐酸,传统性清理技术无从及格。
废水处理营养成分及因素
一般空气废弃物
:固体硅(100-500nm颗粒直径)、氟阴阳离子(200-300mg/L)、异丙醇
來源多种工序
:晶圆刻蚀污生产废水 (45%)、CMP化学物质装置镜面抛光污生产废水 (40%)、装置冲干净水(15%)
外理加工鑫霖环保流程步骤
科学创新用"化学物质积累+珍禽膜脱离"技艺的路线:
钙盐奠定
:加药系统氯化钙祛除氟阳离子(转化CaF2沉定)
水解酸化池影响
:符合二沉池剂体现胶体溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm直径膜截流微细颗粒剂
反覆盖程序
:脱盐率>98%,回收利用率75%
减压蒸馏析出
:浓水段推动氟化物零尾气排放标准
最中感觉
氟化物浓度值:<8mg/L(降至政府七级规格10mg/L)
硅含氧量:<5mg/L
自然资源量中水回用率:70%广泛用于保压塔补水保湿
危废处理回收利用:减压蒸馏渣子量较过去的施工工艺限制60%