某半导加工公司因晶圆清洁工作工步呈现含氨焦化废水,出水量200吨/天。焦化废水内除挥发酚外还具有氟化物和氢化物发生器高价属,整理难度系数大。日本污染物准则必须挥发酚<5mg/L,氟化物<3mg/L。
污废水 营养成分及来源于
晶圆洗掉废水处理工艺(一般主要来源):含挥发酚200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀制作工序废液:含少量铜、镍等巨资属,pH值下降大
CMP打磨电镀废水:含硅颗粒肥料及氯离子
办理工艺操作流程操作流程
运用"化工积淀+膜转移+折点氯化"三人组合工艺设计:
预清理
:加药系统CaCl2除氟,保持pH在7.5-8.
反渗透膜装置
:彻底清除0.01μm超过小型颗粒物物
反加入原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖
:将高锰酸盐指数提液至1000mg/L以上的
折点氯化
:精准度的控制氯加药系统量,将化学需氧量应用为氦气
化合物交易
:保护高价属考核标准
最中郊果
氟化物保持稳定<3mg/L,氟化物<1mg/L
血本属水平不超过在线检测限
水使用率达75%
工业废水生成量抑制40%