某半导体技术操作器造成厂在晶圆加工生产具体步骤中,运用硅烷实施硅外延性生张,排放洗衣机清洗塔有高有机废气浓度含硅废渣。废渣都具有pH浮动大(2-11)、硅的含量高的特别,一般操作方式易造成硅垢不通事情。
电镀废水营养成分及源头
废水处理工艺重要组成成分为:
消融性硅酸盐
:SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L
硝酸钠/氢阳极氧化钠
:干洗塔耐酸碱干洗液残余物
顆粒硅
:nm级SiO₂氢氧化铁
痕量砷
:辅料残渣带到
正确处理工艺技术步骤流程
技术创新使用"二级结合+膜过滤装置+蒸发器晶体"新工艺:
特一级结合
:用CaO自动调节pH至4-5,转为硅酸钙析出,硅清掉率60%。
一级采和
:加Na₂CO₃将pH提高自己至9,进一个步骤奠定多余硅,串连用镁剂除砷。
超滤膜操作系统
:0.02μm淘瓷膜活性炭过滤nm级硅颗粒肥料,通量稳定性在80LMH。
MVR多效冷疑器
:浓缩提炼高盐废渣,凝结出Na₂SO₄副商品,水中水回用率超90%。
最后感觉
总硅从1500mg/L降下来5mg/L下面的
砷分量从0.8mg/L调至0.01mg/L
体统无积垢正常运行不超2年
年均回笼盐酸钠硫化锌约800吨