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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体技术操作器造成厂在晶圆加工生产具体步骤中,运用硅烷实施硅外延性生张,排放洗衣机清洗塔有高有机废气浓度含硅废渣。废渣都具有pH浮动大(2-11)、硅的含量高的特别,一般操作方式易造成硅垢不通事情。 电镀废水营养成分及源头 废水处理工艺重要组成成分为: 消融性硅酸盐 :SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢阳极氧化钠 :干洗塔耐酸碱干洗液残余物 顆粒硅 :nm级SiO₂氢氧化铁 痕量砷 :辅料残渣带到 正确处理工艺技术步骤流程 技术创新使用"二级结合+膜过滤装置+蒸发器晶体"新工艺: 特一级结合 :用CaO自动调节pH至4-5,转为硅酸钙析出,硅清掉率60%。 一级采和 :加Na₂CO₃将pH提高自己至9,进一个步骤奠定多余硅,串连用镁剂除砷。 超滤膜操作系统 :0.02μm淘瓷膜活性炭过滤nm级硅颗粒肥料,通量稳定性在80LMH。 MVR多效冷疑器 :浓缩提炼高盐废渣,凝结出Na₂SO₄副商品,水中水回用率超90%。 最后感觉 总硅从1500mg/L降下来5mg/L下面的 砷分量从0.8mg/L调至0.01mg/L 体统无积垢正常运行不超2年 年均回笼盐酸钠硫化锌约800吨

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