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半导体厂高浓度氨气酸性废气处理案例

某半导体芯片厂高质量浓度氢氧化钠+强酸气休联动加工处理工程项目 一、新项目题材与有机废气特性 该厂铁离子流入、传播工步所产生高溶度氯气(NH₃,溶度5,000-8,000mg/m³)与强酸混合式气休(HCl、H₂S,溶度1,000-2,000mg/m³)混合式尾气,新风量10,000m³/h。氯气拥有强激励性,强酸混合式气休生锈性强,若会排放物会建成铵盐颗粒肥料物,日益突出区城PM2.5影响,且对外面农大田作物生长的会造成损害。 二、净化处理加工制作工艺 制作 利用**“酸碱度采和干洗+催化反应氧化物+可溶性炭吸附剂”**的共同生产技术,针对于性应对二氧化氮与呈酸性有毒气体的协同作战洗去情况:

酸碱中和洗涤:废气首先进入双塔串联洗涤系统,第一塔喷淋稀硫酸(H₂SO₄)溶液,中和氨气生成硫酸铵(可回收作为化肥原料);第二塔喷淋NaOH溶液,中和HCl、H₂S等酸性气体,生成NaCl、Na₂S等无害盐类。

催化氧化:中和后的废气仍含微量NH₃与酸性气体,进入催化氧化装置,在Pt/Al₂O₃催化剂作用下,通过低温氧化(300-400℃)将残留污染物彻底分解为N₂、H₂O、CO₂。

活性炭吸附:最后通过活性炭吸附塔,捕获微量有机杂质与颗粒物,确保排放浓度≤50mg/m³(NH₃)、≤20mg/m³(HCl),满足《恶臭污染物排放标准》(GB 14554-93)要求。

三、正确处理装备重点特色

资源回收能力:硫酸铵回收系统可将中和产生的硫酸铵溶液浓缩结晶,作为农业肥料销售,年创收超50万元,实现“以废治废”的循环经济模式。

高效协同去除:双塔串联洗涤设计,可同时处理氨气与酸性气体,避免单一洗涤塔因pH波动导致处理效率下降;催化氧化装置采用抗中毒催化剂,可耐受硫化物、氨气等杂质,使用寿命超3年。

安全防爆设计:氨气与空气混合易形成爆炸性气体(爆炸极限15%-28%),洗涤塔与催化氧化装置均配备氮气吹扫、泄漏报警、紧急切断系统,确保处理过程零事故。

四、工作目的与公司经济发展 品牌投用后,氢氧化钠、HCl污染物溶度各是减至30mg/m³、10mg/m³,硝酸钠铵年再利用量超200吨,创收300万元;较近人投拆量上升95%,工厂赚取“环境保护社会各界责任事故奖”,在以政府项目招标中原则荣获“草绿色提供商”,订单数量量同比延长率延长30%。

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