该典例基华中地方一家子中型半导体外理芯片制做工业企业主,一般制作销售结合三极管外理芯片。在制作销售的时候中,晶圆洗、蚀刻等程序需安全使用大批电子器材级磷酸(纯净度≥85%),就此产生了高有机废气浓度含磷污废水 。工业企业主现有外理设备始终无法需要满足逐渐严格执行的废气标准规范(TP≤0.5mg/L),急需要提升等级创新。
废渣成份及渠道
焦化污污水 其主要都发源以下三个要素:晶圆洗掉焦化污污水 (占总出水量60%)、机清洗道路器焦化污污水 (30%)或者水泥地面清洗道路器焦化污污水 (10%)。水源功能症状为:pH值1.5-2.5,总磷氧浓度800-1200mg/L,氟亚铁离子含碳量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并有效氢化物发生器高价属(铜、锌等)。
加工处理工艺设计程序流程
工程选择"预外理+耐腐蚀结晶+初级氧化反应+程度净化"的组装工艺设备:
调理池
:平均环境质量排水量,设置pH在线免费监测体系体系
七级发应池
:添加白灰乳调结pH至8.5-9.0,导致Ca3(PO4)2析出
二次元作用池
:含有PAC和PAM精炼二沉池疗效
斜板发展池
:变现固液分离出来,废水進入烘干软件系统
Fenton钝化单元式
:H2O2与Fe²⁺携手的功效光降解巧妙物
多有机溶剂吸附器
:石英砂砂+活力性炭组合构成滤水,加强组织领导喷水纯净
阴离子相互交换设计
:进步删去的残留物黑色金属铁离子
最中效果好
程序操作稳定性后,出水出水水硬度:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟化合物≤5mg/L,几项技术指标远低于《手机轻工业水危害物排出出标淮》(GB 39731-2020)。今年削减磷排出出约15吨,厌氧颗粒污泥形成量较传统的艺拉低40%,操作人工成本掌握在8.十元/吨水。