该晶圆制造厂处于苏北城市,常见制造89英寸半导体技术晶圆,每日污水释放量下跌约800吨。因制造全过程中便用非常多的氢氧化钠对其进行晶圆蚀刻,促使污池里氟化物质量浓度独角兽高达200-300mg/L,远超发展中国家释放原则(10mg/L下面)。
电镀废水化学成分及收入
废气最主要来于三种各个环节:
晶圆蚀刻步骤
:含高氧浓度氟化物(HF)、氰化钠及一些巨资属
化学上厂家打磨(CMP)废水处理
:含微米级硅颗粒状、设计络合剂
设施设备难以清理废水处理工艺
:含异丙醇、氧化还原电位等有机会物
办理新工艺工作流程
利用"检查是否析出+沥青混凝土析出+深度.过滤控制系统"一级净化处理控制系统:
四级治理
:添加氯化钙和氢防氧化钙,转变成氟化钙水解,氟化物出掉率达85%
特殊解决
:含有PAC(配位聚氯化铝)和PAM(聚丙酰胺),除去橡胶胶体部分态废弃物物
两级处里
:实现多导电介质活性炭吸附器和活力性炭活性炭吸附,出液氟化物溶液浓度安全在8mg/L下列
重中之重装备涉及到:pH自然调整机系统、斜管发展池、板框带式压滤机(污水过滤)。
以后郊果
投资项目正常运行3年探测大数据表示:
氟化物均匀氧化还原电位:7.2mg/L(少于发达国家基准)
COD除去率:92%
废水含水量率:≤65%
年回收公司氟化钙副类产品约150吨,达到的综合应用应用