半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
工作的背景
该品牌为全世界遥遥领先的半导测封品牌,坐落在珠江三角型各地,基本去高性价比心片的划区和封装形式测验。因本市环保健康标准从严,品牌考虑颁布废渣无废气排放量工作。好项目于202两年开始,202两年6月开建投入运营,正确处理企业规模为200吨/日,总创业约2000万美元。
废水处理工艺含量及从何而来
本项需求划区污废水 拥有以上特色:
高溶度氟化物,核心来源晶圆切开后的清洁工作制作工序,氟阴阳离子溶度多达150-200mg/L
所含微米级硅粉粒状,比表面积多在100-500nm中
有机化学用电负荷较高,COD在500-800mg/L
含有氢化物发生器天价属如铅、镉等
水的电导率高,普通在2000-3000μS/cm
操作加工流程步骤
为满足零排污总体目标,技术结构设计侧重于顾虑废渣分级分类整理和能源回报:
污废水 类型征集程序
:将含氟工业废渣与的工业废渣分不开回收利用
无机化学奠定除氟
:采取两极钙盐石雕文化沉垫法,紧密配合更高效石雕文化沉垫池
高阶防氧化加工处理
:臭氧杀菌促使阳极氧化溶解难补救有机化合物物
膜沉淀程序
:采用了DTRO碟管式反参透,浸提3的倍数为10倍
挥发成果
:MVR机水蒸汽再解压缩挥发器治理浓水
低温干燥系统
:将晶粒盐皮肤干燥后做工农业副厂品外售
加工处理的效果
机系统正常运作数据报告提示:
氟化物彻底清除率>99.9%,出水出水氟正离子<1mg/L
COD总清掉率>98%,出水量COD<20mg/L
水材料回收并率>95%,仅引起极少量凝结盐
第一年可环保再生资源回收优质保证工业废水处理水约2万吨
晶体盐溶解度体现工农业级要求,体现的无害化充分利用
活动一方面控制了电镀废水无废气排放物,还依据资原收集创造出了约80百万元/年的三倍收益率。