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研磨液废水怎么处理|研磨液废水如何处理

的项目经验 某较大型光电器件制做的客户最靠近长四角的地方,其主要生產晶圆和心片。在生產全过程中,晶圆分割和抛光正确处理阶段中,生成大量考虑液废水正确处理方法,每日排卸量约50吨。主要是因为废水正确处理方法中具有高溶液浓度悬浮按钮物、轻金属阳离子及生产含有剂,会排卸会对区域带来难治环保问题,的客户人们非常开发技术专业正确处理基础设施。 废渣的成分及收入 考虑液废液通常来历于晶圆处理中的化学反应自动化设备打磨抛光(CMP)工艺技术,通常污染源物其中包括: 浮动顆粒物 :二硫化硅、硫化铝等碾磨小粒,粒度在0.1-1μm,氧化还原电位达2000mg/L。 轻金属正离子 :铜、铁、锌等,发源抛光剂垫损伤及晶圆接触面金属材料层,铜正离子氧浓度约50mg/L。 有机酸添加图片剂 :比如从表面灵活性剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。 酸碱平衡性有害物质 :pH值上下波动大,一般性在2-11直接。 解决加工制作工艺 具体流程 面向焦化废水基本特征,用“预外理+生物化学+广度外理”搭配工序: 上下调整池 :均衡性水质监测出水量,生成酸性调准pH至中性粒细胞。 混疑沉定 :加药系统PAC(聚合物氯化铝)和PAM(pp聚丙烯酰胺),洗去悬停物和橡胶胶体部分,沉降后SS洗去率>90%。 催化反应脱色 :适用Fenton化学药品(H₂O₂+Fe²⁺)分解有机酸调用剂,COD洗去率达60%。 菌物除理 :MBR膜菌物症状器进两步生物降解残余有机会物,COD低于100mg/L有以下。 阳离子交互 :专用型光敏树脂吸附性铜阳离子,喷水铜含碳量<0.5mg/L。 砂滤+几丁质酶炭过滤装置 :有效确保溢水清冽,完成《工业废水总体摆放标准规范》(GB8978-1996)4级标准规范。 之后使用效果 系统的行驶稳定性高后: SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴阳离子<0.3mg/L。 回收利用率达40%,剩下达到标准污染物,年才能减少废水处理污染物1.7万吨。 清理料工费约15元/吨,远高于制造行业大概。

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